目前有两种主要技术通常用于测量激光束功率:光电二极管的传感器,用于测量低功率(通常从pW到几百mW);仅限于从紫外到近红外的光谱区域,具体取决于所使用的特定半导体,以及热传感器,用于测量更高功率;最灵敏的热传感器可以测量低至数十微瓦,最高可达100 KW及以上。
一、测量极低功率激光束
如果需要测量非常低功率的激光束,比如纳瓦量级,但波长在中红外或远红外区域,该怎么办?
低功率测量需要光电二极管型传感器;然而,光电二极管的光谱范围有限。硅的工作波长约为1100nm,而锗或InGaAs可以达到1700nm或1800nm。使用由特殊材料制成的特种光电二极管通常不是一种实用的替代方案。热传感器可以处理问题的波长部分,但在测量低至nW的功率时,即使是最敏感的型号也无济于事。虽然可以使用Ophir 最灵敏的热传感器 3A 可以测量低至 10uW 的功率,但在这里仍然不是解决方案。
二、解决方案
为了弥合这一差距,可以使用RM9辐射计系统。用于测量从紫外到深红外的非常宽的光谱范围内极低电平连续波或准连续波源的功率。利用具有所需光谱带宽的热释电探测器。所需的高灵敏度(测量所讨论的极低功率)是通过两个关键组件的组合实现的:斩波器和“锁相放大器”。这个想法是这样的:实际上,斩波器将光束变成脉冲光束。以 18Hz 的特定速率工作;然后,热释电探测器感测光束,并在锁相放大器的帮助下,忽略任何不以18Hz脉冲的信号。这种方法将噪声水平保持在非常低的水平,因此RM9可以测量低至100nW的功率。
在这里,可以看到连接到Vega的RM9辐射计:
只需将 BNC 电缆从斩波器连接到传感器的电子模块,然后将模块连接到合适的 Ophir 仪表,例如 Vega。然后像任何标准 Ophir 智能传感器一样在 Vega 中设置测量参数(范围、波长等)。当前型号可以测量100nW至100mW的功率范围,并指定为0.15um至12um的光谱范围。
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