由于可用的激光器类型多种多样，因此有多种仪器可用于测量光束轮廓。没有任何一个光束分析仪能够适应所有可能的波长、功率水平、重复率、脉冲持续时间和光束尺寸。光束分析仪通常使用三种方法来测量和表征激光束。下面将讲述激光光斑测量方法(使用什么方法测量光斑最好)?
基于相机的分析方法
在此方法中，激光束被衰减并聚焦到 CCD(电荷耦合器件)相机上。相机捕获光束横截面的强度分布，创建光束轮廓的二维图像。硅基 CCD 通常用于此目的。它们适合测量可见光和近红外范围内的波长，通常从 250 nm 到 1100 nm 左右。相机的像素收集光强度信息，从而能够分析光束的形状、大小、发散度和强度分布。基于相机的技术提供了光束轮廓的完整二维图像，显示了精细的细节和热点。
扫描狭缝法
扫描狭缝轮廓仪在激光束的路径上移动一个狭窄的狭缝，迫使激光束穿过它。通过狭缝的光强度由光电探测器记录为位置的函数。狭缝轮廓仪在扫描期间覆盖整个光束。然而，如果光束缺乏圆形对称性并且形状不接近高斯，则所得轮廓可能无法精确表示强度轮廓。扫描的分辨率取决于狭缝的宽度。较窄的狭缝可产生较高的分辨率，但会减少到达检测器的光量，从而导致信噪比较低。该方法可以测量光束宽度(以及形状)、发散度、强度和像散。扫描狭缝轮廓仪可提供更高的直接测量小光束的精度。
刀口扫描法
与使用细线而不是单个刀刃进行测量的扫描狭缝轮廓仪不同，刀刃技术依赖于拦截激光束的锋利刀片。随后，使用光电二极管来测量与叶片位置相对应的入射功率。该信息用于确定光束轮廓。通过在光束横截面上移动刀，可以重建强度分布，提供有关光束宽度和形状的数据。
与狭缝扫描或针孔扫描相比，扫描狭缝轮廓仪具有多种优势。首先，它避免了针孔尺寸或狭缝宽度对光束强度的限制。其次，它实现了非常高的信噪比。第三，其分辨率不受孔径尺寸的限制，可以以0.1μm的分辨率测量直径小至几微米的光束。此外，当全光束在扫描期间到达检测器时，可以获得准确的功率和噪声测量。
与狭缝扫描仪类似，扫描的精度取决于光束的几何形状。为了获得最佳结果，光束应该是圆形对称的并且形状近似高斯。
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